• 威尼斯9499(中国)官方网站

    解決方案 > 工業過程分析行業解決方案 >

    半導體行業過程氣體分析解決方案

    方案概述

    氣體純度和淨度的加持

    電子特氣的品質主要取決於其純度和淨度，一旦純度或淨度不達標，輕則使下游產品質量不過關，重則擴散污染整條產品線，造成嚴重浪費。為了保證產品的合格率，避免經濟損失，半導體製造商會對氣體供應商提供的氣體純度做出嚴格要求，通過使用多種氣體純化技術並實時連續監測氣體純度，以確保輸送到製造全過程的超純氣體的質量。

    威尼斯9499為半導體製造商提供過程氣體分析一站式解決方案，在電子特氣進入矽晶圓製造工藝之前，就開啟連續監測，並通過自主研發的軟件包實時分析和反饋，滿足對晶圓製造過程中各種氣體及雜質進行在線實時監測的需求。

    相關產品

    火焰離子化+甲烷轉換器色譜儀-ppb-ppm

    氬離子化色譜儀-ppm

    ORTHOPure HDID-ppt-ppb-ppm